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本ガイドは，総合COO（comprehensive cost of ownership），制限付きCOO（constrained cost of ownership），モニタCOO（monitor cost of ownership）の計算機（プログラム）を構築するために必要な定義，分類，アルゴリズム，手段，暫定値を提供することにより，EHS（環境，健康，安全）要因に関連したコストを含めた装置に関連するコスト計算を可能にするための手順を提供するものである。
本标准包括光伏组件用超薄玻璃的性能要求、测试方法、抽样和判定规则等。
NOTICE: This document is no longer published with the SEMI E54 suite of standards
equipment modules within a multipath cluster tool (MPCT)
the recombination characteristics must be carefully controlled to obtain the desired device performance
PV02200 - SEMI PV22 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様 Revision:SEMI PV22-1011 - Superseded 本ガイドは，総合COO（comprehensive cost of ownership），制限付きCOO（constrained costglobal Photovoltaic Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org (PV) Referenced SEMI Standards SEMI M35 Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection SEMI M44 Guide to Conversion Factors for Interstitial Oxygen in Silicon SEMI M53 Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems Using Depositions of Monodisperse Polystyrene Latex